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1、光譜干涉膜厚儀

這是利用光干涉的膜厚計(jì)。當(dāng)光線進(jìn)入待測物體時(shí)，會在薄膜的正面和背面發(fā)生反射。這兩個(gè)反射光之間存在相移，并且該相移的發(fā)生取決于薄膜的厚度。當(dāng)波同相位重疊時(shí)，它們會相互增強(qiáng)，而當(dāng)它們以相反相位重疊時(shí)，它們會相互減弱，因此可以通過測量這種干涉差來測量厚度。

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2、紅外膜厚儀

這是利用紅外線被測量對象物吸收的原理的膜厚計(jì)。當(dāng)用紅外線照射待測物體時(shí)，根據(jù)待測物體的材料和厚度，特定波長的紅外線被吸收。該特性用于根據(jù)通過劃分透射光或反射光獲得的光譜來測量薄膜厚度。通過預(yù)先測量被測材料的吸收率與膜厚的關(guān)系，可以計(jì)算出被測材料的膜厚。

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3、電磁膜厚計(jì)

這是利用磁通密度變化的膜厚計(jì)。這是當(dāng)測量目標(biāo)形成在磁性金屬表面上時(shí)使用的測量方法，磁通量是利用密度變化這一事實(shí)的。但只有當(dāng)被測物體與金屬接觸時(shí)才能使用，且被測物體不是金屬。

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4.渦流膜厚計(jì)

渦流膜厚計(jì)是利用線圈產(chǎn)生的磁通量的變化來測量物體厚度的方法。通電的線圈周圍會產(chǎn)生磁通，當(dāng)線圈靠近被測量物時(shí)，磁通會根據(jù)被測量物的厚度而變化。通過檢測該磁通量的變化來測量被測物體的厚度。

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5、超聲波膜厚計(jì)

超聲波膜厚計(jì)是利用超聲波反射的膜厚計(jì)。當(dāng)超聲波從被測物體的表面發(fā)射時(shí)，它會穿過物體的內(nèi)部并被背面反射?？梢愿鶕?jù)反射發(fā)生所需的時(shí)間來測量厚度。

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例如，當(dāng)測量玻璃等透明薄膜的厚度時(shí)，使用使用寬帶光的光譜干涉膜厚計(jì)或使用紅外光的紅外膜厚計(jì)。另一方面，這些類型的膜厚計(jì)不能用于不透光的材料，例如金屬。

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測量金屬電鍍等薄膜時(shí)，使用利用磁通量變化的電磁式膜厚計(jì)和利用渦流的渦流式膜厚計(jì)。此外，如果難以觸摸被測物體，也可使用超聲波涂層測厚儀等非接觸式涂層測厚儀。